MOCVD系统过滤器测试认证与运维标准

来源:MOCVD滤芯http://www.galthe.com/ | 发布时间:2025/8/26 | 浏览次数：

MOCVD滤芯完整性测试‌：出厂前强制通过起泡点测试或压力衰减测试，验证滤芯无缺陷‌。

‌ 性能认证‌：需符合ISO 16889液压标准及GB/T 13554-2020，提供第三方过滤效率报告；半导体场景额外要求AMC拦截能力‌。

‌ 运维管理‌：定期DOP法检测颗粒穿透率，压差监控系统预警滤芯饱和；废弃处理需防止玻璃纤维扩散‌。本文源自MOCVD滤芯http://www.galthe.com/。

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