MOCVD系统过滤器的核心性能指标

来源:MOCVD滤芯http://www.galthe.com | 发布时间:2025/8/22 | 浏览次数：

过滤精度‌：针对超细颗粒物，滤芯精度需≤0.3μm，通过筛分效应直接拦截颗粒；标准要求初始过滤效率开机即达高效，避免依赖粉尘初层形成‌。

‌ 截留效率与排放控制‌：对0.3μm颗粒的捕集效率需符合HEPA标准分级，确保排放浓度≤5mg/m³；超低排放场景要求拦截率≥99.9%，并通过MPPS测试法验证‌。

‌压降与通量特性‌：初始压降≤220Pa，容污后压升曲线平缓；大通量设计需适配高流量需求，减少系统能耗并延长寿命至12个月以上‌。本文源自MOCVD滤芯http://www.galthe.com/。

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