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固安县律特霍尔过滤设备制造厂

联系人：赵经理

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地 址：河北省廊坊市固安县温泉园区

MOCVD滤芯气态污染物去除：抑 制化学反应异常‌

来源:MOCVD滤芯ttp://www.galthe.com/ | 发布时间:2025/8/18 | 浏览次数：

   酸性/碱性杂质净化‌：多级化学吸附滤材去除SO₂、NH₃等酸碱性气体，防止前驱体分 解异常导致的薄膜成分偏离。

‌   有 机物深 度脱除‌：专用催化层分 解NMHC、HMDSO等挥发性有 机物，消 除碳污染引起的薄膜导电性劣化。本文源自MOCVD滤芯http://www.galthe.com/。


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MOCVD滤芯
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