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固安县律特霍尔过滤设备制造厂

联系人：赵经理

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MOCVD过滤器：半导体外延生长的“洁净卫士”‌

来源:MOCVD过滤器http://www.galthe.com/ | 发布时间:2025/7/23 | 浏览次数：

    MOCVD是制备化合物半导体薄膜的核心技术，而过滤器作为其关键组件，直接关系到外延生长的纯度和设备稳定性‌。
   气体纯化‌：过滤金属you机化合物和氢化物中的颗粒物，避免杂质污染外延层‌。
   典型过滤精度：亚微米级‌。
   ‌保护反应腔体‌：防止粉尘、锈蚀颗粒进入反应室，降低腔体维护频率‌。延长MOCVD设备寿命，减少因污染导致的工艺中断‌。

   尾气处理‌：部分过滤器集成于尾气系统，吸附未反应的毒性气体。文章来源MOCVD过滤器http://www.galthe.com/。 


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MOCVD过滤器
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