MOCVD过滤器在半导体行业的应用

来源:MOCVD过滤器http://www.galthe.com/ | 发布时间:2025/7/1 | 浏览次数：

在半导体行业的具体应用

MOCVD过滤器在半导体制造过程中发挥着至关重要的作用，主要应用于以下场景：

‌ 气体纯化‌：

过滤进入反应器的载气（如氢气、氮气），去除金属前驱体中的颗粒污染物，确保反应气体的纯度，提高外延层质量。

‌ 工艺稳定性保障‌：

在光刻、蚀刻和离子注入等关键工艺中，减少因气体污染导致的设备故障，降低停机时间，提高生产效率。

‌ 尾气处理‌：

安装在真空泵前，滤除混合气体中的粉尘和颗粒，防止未反应的前驱体及副产品污染环境。

‌特殊工艺应用‌：

在氮化镓(GaN)、GaAs等化合物半导体生长中，用于LED芯片、功率器件、射频器件等产品制造。文章来源天然气滤芯http://www.galthe.com/。

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